Quelle est la différence entre MEMS et MOEMS?


Réponse 1:

MEMS est MicroElectroMechanical Systems et autre est MicroOptoElectroMechanical systems. Lorsque le dispositif MEMS est conçu pour détecter ou actionner la lumière, il est appelé MOEMS. Alors que dans les MEMS, il peut être thermique électrique et mécanique ou couplé entre les trois (certainement PAS de lumière) soit en tant que charge d'entrée ou en sortie.